發布時間：2023-06-24 21:41:37 人氣：5170
無塵室測試范圍介紹
凡是和無塵室環境控制有關的因素，都在無塵室認證的范圍之內。在無塵室完工之前，業主、施工單位、與測試單位?應就以下幾個主題做詳細討論并達成協議，以利測試進行。
待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網位置、與數量
測試的目的
測試程序
使用儀器
測試報告撰寫方式與內容
工期
在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發現問題時也可以盡快排除，對業主和施工單位都有利。
IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態，具有相當參考價值表列如下。
IEST-RP-CC006.2 Table 1
章節 | 測試項目 | 單一流向型 | 非單一流向型 | 混合型 |
6.1 | 風量與均勻度 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.2 | 濾網泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
6.3 | 潔凈度 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.4 | 壓力 | 1,2 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.5 | 平行度 | 1,2 | N/A | OPT (1,2 only) |
6.6 | 空間泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
6.7 | 恢復率 | N/A | 1,2 | 1,2 |
6.8 | 粒子沉降測試 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.9 | 照度 | 1,OPT(2,3) | 1,OPT(2,3) | 1,OPT (2,3) |
6.10 | 噪音 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.11-6.13 | 溫濕度 | 1,2,2 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.14 | 振動 | OPT | OPT | OPT |
測試的順序沒有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:測試適用于As-built狀態
2:測試適用于At-rest狀態
3:測試適用于Operational狀態
N/A:代表該測試在該狀態下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定
由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態，因為不易受干擾。
風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為容易受干擾。當然這是IEST的建議，我們可以自行決定。
至于測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。
第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵室都應至少應做的測試。
第一級測試項目包括：
A.風速量測
B.風量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網泄漏測試
E.潔凈度測試
F.壓力量測
第二級〈Level II〉:第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關，但是只有在特殊情況下才需要進行。
A.氣流平行度量測〈只適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉
第三級〈Level III〉:第三級測試就與氣流無關，都是屬于環境因素。
A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫濕度測試
這里說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序，當然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標準。
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