無(wú)塵室測(cè)試范圍介紹

無(wú)塵室測(cè)試范圍介紹

凡是和無(wú)塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無(wú)塵室認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無(wú)塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測(cè)試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測(cè)試進(jìn)行。

1. 待測(cè)無(wú)塵室涵蓋范圍、等級(jí)、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量

2. 測(cè)試的目的

3. 測(cè)試程序

4. 使用儀器

5. 測(cè)試報(bào)告撰寫方式與內(nèi)容

6. 工期
   

在測(cè)試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測(cè)試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)也可以盡快排除，對(duì)業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062有一個(gè)表說(shuō)明測(cè)試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1 

測(cè)試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

1:測(cè)試適用于As-built狀態(tài)
2:測(cè)試適用于At-rest狀態(tài)
3:測(cè)試適用于Operational狀態(tài) 

N/A:代表該測(cè)試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:代表該測(cè)試在該狀態(tài)下為?選擇性測(cè)試?，可以視制程需求而定

由上表可看出，風(fēng)量測(cè)試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。

風(fēng)速量測(cè)，在非單一流向型〈亂流型〉無(wú)塵室就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是IEST的建議，我們可以自行決定。

至于測(cè)試的項(xiàng)目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級(jí)，說(shuō)明如下。

第一級(jí)〈Level I〉:第一級(jí)測(cè)試是所謂的主要測(cè)試，與潔凈度直接有關(guān)的測(cè)試都屬第一級(jí)，每個(gè)無(wú)塵室都應(yīng)至少應(yīng)做的測(cè)試。

第一級(jí)測(cè)試項(xiàng)目包括：

A.風(fēng)速量測(cè)
B.風(fēng)量量測(cè)
C.前兩項(xiàng)的均勻度分析
D.濾網(wǎng)泄漏測(cè)試
E.潔凈度測(cè)試
F.壓力量測(cè)

第二級(jí)〈Level   II〉:第二級(jí)測(cè)試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。

A.氣流平行度量測(cè)〈只適用層流型〉
B.空間泄漏測(cè)試〈幾乎已被壓差測(cè)試取代〉
C.恢復(fù)率測(cè)試〈依建議只適用亂流型無(wú)塵室〉
D.粒子沉降測(cè)試〈近年來(lái)已經(jīng)很少做〉

第三級(jí)〈Level   III〉:第三級(jí)測(cè)試就與氣流無(wú)關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。

A.照度與其均勻度
B.噪音測(cè)試
C.振動(dòng)測(cè)試
D.溫濕度測(cè)試

這里說(shuō)明NEBB所要求無(wú)塵室性能測(cè)試的各項(xiàng)測(cè)試程序，當(dāng)然這些程序是NEBB所認(rèn)定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說(shuō)是符合NEBB標(biāo)準(zhǔn)。

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